[摘要]：風(fēng)機(jī)過濾器單元 FFU使用說明書
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1-1 風(fēng)機(jī)過濾器單元
風(fēng)機(jī)過濾器單元（FFU ）是一種 自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝 置 。
風(fēng)機(jī)從 FFU 頂部將空氣吸入并經(jīng) HEPA 過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)體...[
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